江苏微电子用纯水设备

江苏微电子用纯水设备

江苏微电子用纯水设备

微电子用纯水设备主要结合电子工业用水连续生产的特性，采用了全膜法处理工艺（UF+RO+EDI）完成高纯水的制备工作，增强了对水中二氧化硅、重金属和**碳的脱除。微电子用纯水设备采用氮封水箱解决了水的储存和污染问题；纯水设备采用进口反渗透膜，产水水质高而稳定；在线水质监测控制，实时监测水质变化，**水质安全；全自动电控程序操作简单、安全；设备可全自动运行，实现无人化管理操作。出水稳定达到美国半导体行业用水标准和中国电子工业部高纯水设备标准。